ハンドリング装置１００の制御部１０１は、ハンドリングユニット１０や上記圧力調整器Ｐ１，Ｐ２及び開閉弁Ｖ１，Ｖ２とともに、各所の駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎ（ｎは２以上の自然数）を制御する。制御部１０１は、上記圧力調整器Ｐ１，Ｐ２に制御信号Ｒｐ１，Ｒｐ２を出力することによって流体の供給圧や排気圧を制御する。また、制御部１０１は、開閉弁Ｖ１，Ｖ２に制御信号Ｒｖ１，Ｒｖ２を出力することによって流体の供給と停止、排気の開始と終了を制御する。さらに、制御部１０１は、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎに設置された位置検出器からの検出信号Ｓｍ１，Ｓｍ２，・・・，Ｓｍｎを受けるとともに、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎに対して制御信号Ｒｍ１，Ｒｍ２，・・・，Ｒｍｎを出力して、それらの作動状態を制御する。なお、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎには、例えば、ハンドリングユニット１０の位置及び姿勢を制御するための、１又は複数のロボットアームの駆動機構などといったユニット駆動系が含まれる。

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また、本実施形態では、コレット１１と作動体１３がハウジング１２内において半径方向に直接に摺動可能な構造で収容されるため、半径方向のコンパクト化を図ることができる。特に、軸線方向基端側にシリンダ構造１２ｓと受圧面１３ｄ及びシリンダ摺接部１３ｓにより、流体圧による作動体１３の軸線方向先端側への駆動構造を設け、軸線方向先端側にはハウジング１２と作動体１３の間の空間内に構成された作動ばね１４などの作動体付勢手段によって作動体１３の軸線方向基端側への復帰機能を設けるようにしている。これにより、軸線方向先端側をさらに容易にコンパクト化することができる。また、後述するように流体圧を変えることによって、流体圧と作動体付勢手段の付勢力との差によって生ずる把持力を容易に調整可能なユニットを実現できる。

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前記ハンドリングユニットの前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、

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作動体１３には、軸線１０ｘに沿って基端部から先端部まで延在する筒状（スリーブ状）に構成される。作動体１３の内周部には、上記コレット１１を収容する軸孔１３ａが設けられる。この軸孔１３ａに臨む軸線方向の一部には、上記コレット１１の基準部１１ａを軸線方向に摺動可能に支持する支持面部１３ｂが形成される。図示例では、この支持面部１３ｂは、軸線１０ｘを中心とする円筒内面で構成される。また、作動体１３には、上記コレット１１の被動部１１ｔに駆動力を与える円錐状の傾斜面で構成される駆動部１３ｃが設けられる。この駆動部１３ｃが上記被動部１１ｔに当接することによって上記弾性変形部１１ｂが弾性変形し、上記フィンガー部１１ｃが把持対象物を把持する方向（図示例では内周側）に移動する。また、作動体１３の先端部（駆動部１３ｃ）には、上記規制溝１１ｐに対して軸線方向に移動可能に導入された内周側規制ピン１６が取り付けられる。この内周側規制ピン１６と規制溝１１ｐの係合は、上記コレット１１と作動体１３の軸線１０ｘの周りの相対的な回転を規制する。さらに、この規制構造とは異なる軸線１０ｘの周りの角度位置において、作動体１３の先端部には、上記ハウジング１２に取り付けられた外周側規制ピン１７が軸線１０ｘに沿って移動可能に収容される、外周側に開放された規制溝１３ｐが設けられる。この外周側規制ピン１７と規制溝１３ｐの係合は、上記作動体１３と、ハウジング１２との軸線１０ｘの周りの相対的な回転を規制する。

作動体１３の外面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに外形寸法（図示例では外径）が増大する段差構造である外側段部１３ｅ（第２の段部）が形成される。この外側段部１３ｅは、上記シリンダ摺接部１３ｓ（基端側外面部分）と、上記支持部１２ｋに対して軸線方向１０ｘに移動可能に摺接する被支持部１３ｋ（先端側外面部分）の間に形成される。ここで、内側段部１２ｅは外側段部１３ｅに対して軸線方向先端側に形成される。また、上記内側段部１２ｅと上記外側段部１３ｅとの間には、図示例ではコイルばねである作動ばね１４（作動体付勢手段）が配置（格納）される。この作動ばね１４は、上記流体供給口１２ｐから供給される流体の流体圧が低減若しくは消失したときに、弾性復元力により、作動体１３を軸線方向基端側に戻す。これによって、駆動部１３ｃから被動部１１ｔに与えられていた駆動力が低減若しくは消失されるので、コレット１１の弾性変形部１１ｂの弾性変形が低減若しくは消失されることにより、複数のフィンガー部１１ｃが把持対象物の把持状態から把持前の非把持状態に対応する半径方向の位置に復帰する。ここで、通気経路１３ｔは、内側段部１２ｅと外側段部１３ｅの間の空間を外部に連通させる。ただし、通気経路１３ｔを形成せずに、当該空間内に圧縮性流体（空気やガスなど）を充填し、これの圧力によって弾性復元力を発揮する上記の作動体付勢手段を構成してもよい。

前記環状弾性体は、前記大径胴部の軸方向の中心位置の外周面に形成された環状凹部に嵌入されていることを特徴とする請求項１に記載の加工工具用保持具。 前記環状弾性体は、前記筒体の内周面に軸方向に離れて形成された２つの環状凹部にそれぞれ嵌入され、

最初に、機能実現手段１００Ａにおける処理内容を説明する。この機能実現手段１００Ａは、流体供給源１０２の供給する流体の流体圧を制御することにより、コレット１１のフィンガー部１１ｃの把持力を制御する手段である。コレット１１のフィンガー部１１ｃによる把持対象物Ｐの把持力は、流体圧が受圧部１３ｄに加わることによって生ずる作動力が作動体１３に加わり、この作動体１３に加わる作動力と、作動ばね１４の弾性復元力との差によって定まる駆動力が駆動部１３ｃから被動部１１ｔに与えられることにより、フィンガー部１１ｃによる把持対象物Ｐの把持力が定まる。このため、上記流体圧を圧力調整器Ｐ１により調整することにより、上記把持力を適宜の値に調整し、設定したり、変化させたりすることができる。流体圧の調整は、制御部１０１の制御信号Ｒｐ１によって行うことができる。このとき、作動体位置検出器Ｓ１の検出信号Ｓｓ、把持態様検出器Ｓ３－Ｓ５の検出信号Ｓｄ、又は、把持対象物検出器Ｓ６の検出信号Ｓｔの少なくともいずれか一つに基づいて、制御部１０１が制御信号Ｒｐ１を設定し、上記流体圧を変化させる。ここで、以下に説明する検出信号Ｓｄの他に、検出信号Ｓｓからは上述のように把持対象物の把持寸法の大小を推定できるので、把持寸法の大小に適した把持力に調整することが可能になる。また、検出信号Ｓｔからは把持対象物の硬さを推定できるので、この硬さに適した把持力に調整することが可能になる。

次に、上記とは別の機能実現手段１００Ｂについて説明する。この機能実現手段１００Ｂは、排気装置又は流体供給源１０４の圧力調整器Ｐ２の圧力値及び開閉弁Ｖ２の開閉状態を制御することにより、把持対象物をコレット１１により適切な把持状態で把持できるように制御する手段である。なお、排気装置１０４を用いる場合には、第２実施形態で説明したように、スリット１１ｓ内に変形可能なシール材を配置して、コレット１１の軸孔１１ｘ内の圧力が低下しやすくなるように構成することが好ましい。この排気装置１０４を用いる場合には、例えば、制御部１０１の制御下のユニット駆動系の作動によってハンドリングユニット１０が把持対象物Ｐに近づいたとき、把持動作前に、制御部１０１の制御信号Ｒｖ２により開閉弁Ｖ２を開弁して、通気口１２ｑを介して軸孔１１ｘの内部の排気を開始する。これにより、コレット１１の先端の複数のフィンガー部１１ｃの間の開口領域に吸引力が生じるため、把持対象物が複数のフィンガー部１１ｃの間に吸引されることにより把持面１１ｇの間の把持位置に導かれる。この場合、上記吸引力によって把持対象物が開口領域内に容易に導かれるように、フィンガー部１１ｃの先端の把持位置の側の角部（図示例では内側角部）にテーパー状のガイド部を設けることが好ましい。

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